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武漢光電國家研究中心團隊攻克芯片光刻膠關鍵技術 原材料全部國產 配方全自主設計

發布日期：2024-10-28     373 次

10月25日消息，據華中科技大學官微消息，近日，該校武漢光電國家研究中心團隊，在國內率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方，助推我國芯片制造關鍵原材料突破瓶頸。

據介紹，其研發的T150A光刻膠系列產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現了原材料全部國產，配方全自主設計，有望開創國內半導體光刻制造新局面。

公開資料顯示，光刻膠是一種感光材料，用于芯片制造的光刻環節，工作原理類似于照相機的膠卷曝光。芯片制造時，會在晶圓上涂上光刻膠，在掩膜版上繪制好電路圖。

當光線透過掩膜版照射到光刻膠上會發生曝光，經過一系列處理后，晶圓上就會得到所需的電路圖。

由于光刻膠是芯片制造的關鍵材料，國外企業對其原料和配方高度保密，目前我國所使用的光刻膠九成以上依賴進口。

武漢光電國家研究中心團隊研發的這款半導體專用光刻膠對標國際頭部企業主流KrF光刻膠系列。

相較于國外同系列某產品，T150A在光刻工藝中表現出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大、穩定性更高、留膜率更優，其對刻蝕工藝表現更好，通過驗證發現T150A中密集圖形經過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現優異。

團隊負責人表示：“以光刻技術的分子基礎研究和原材料的開發為起點，最終獲得具有自主知識產權的配方技術，這只是個開始。我們團隊還會發展一系列應用于不同場景下的KrF與ArF光刻膠，致力于突破國外卡脖子關鍵技術，為國內相關產業帶來更多驚喜。”

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