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半導體特性曲線圖示儀 CS-8000系列

主要特點:

  • 最大5kV、最大2000A的大功率測試
  • 正確的微電流測量 (分辨率250fA)
  • 大畫面12.1英寸觸摸屏幕
  • 多種GATE信號輸出功能
  • 充實的溫度特性測量選配件
  • 探測臺上的大功率晶圓測試


易于使用的UI

搭載12.1英寸TFT-LCD(1,280×800)的高清、大畫面顯示器,添加觸摸屏幕操作功能,可通過前面板上的功能鍵、各功能的獨立旋鈕實現直觀操作。

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①X-Y顯示區域

可將任意電壓/電流參數分別設置于X軸、Y軸,并顯示Vds Id特性、閾值電壓、Vds-Vgs飽和特性等各種半導體特性曲線。同時,還可在Y軸上設置多個參數。刻度可在Log/線性之間相互切換。

②Y-T顯示區域

可像示波器一樣通過時間軸顯示測量印加波形。可實時確認脈寬、測量點、振蕩等波形異常等,所以可輕松檢驗測量是否正確完成。 所有印加波形數據均可與X-Y顯示的數據同時保存,所以可對測量結果再次執行檢驗。

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③測量數據顯示區域

以文本方式顯示詳細測量結果和測量條件、狀態。

④配置設置區域

設置設備的測量配置。支持以圖形方式顯示電壓/電流單元的選擇及配線變更等

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⑤參數設置區域

在此區域執行測量參數/測量限值的設置及手動/自動測量的切換等作業。

⑥操作面板

正面面板上配有按鈕和轉動旋鈕,可輕松執行手動測量。 配置于中央的數字鍵可執行參數的數值輸入。 可通過DRAIN/COLLECTOR/GATE/BASE/垂直軸/水平軸轉動旋鈕輕松執行手動測量。

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基于用途的輸出源

可基于用途任意選擇測量所需電壓/電流單元。

右側照片分別為:

上段:測試臺

下段:大電流單元

HV單元

2kV、5kV的高電壓單元。DC/脈沖波可選。額定電壓/額定電流驅動測量可選。


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MV單元(所有主單元共通)

200V的中電壓單元。額定電壓/額定電流驅動測量可選。DC、脈沖等、SIN、半波、全波波形可選。

GATE單元(所有主單元共通)

40V的單元。額定電壓/額定電流驅動測量可選。DC、脈沖等、SIN可選。


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HC單元

搭載大電流模式,由此可支持最大2000A的大電流測量。脈寬、測量周期、測量范圍均可調整

最小電流分辨率 250 fA

通過三軸的采用和測量類的優化,有效削減了設備內的漏電流和噪聲,可實現微電流的穩定測量。

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多種GATE信號輸出

可按排序輸出、印加GATE信號。

保持時間可調范圍

0.000[s] ~ 5.000[s]

預備信號電壓范圍

GATE側 -40[V] ~ +40[V]

遲滯測量

CS-8000對于具有遲滯的SiC及GaN等寬禁帶半導體測量備有便利功能。

雙重掃頻功能可同時顯示UP掃頻、DOWN掃頻,所以可執行遲滯觀測。

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安全機構

添加聯動功能,備有輸出限值功能。

可為電壓/電流/功率分別設置限值,由此防止DUT的損傷。

同時,通過硬件的過電流保護功能,在流入測量量程的1.4倍電流時即會阻斷電流。

組合結構

可根據測量對象電壓和電流選擇HC單元或測試臺。

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